摘要 Z,WW]Y,$ EX ?h0Uy 掃描
干涉法是實(shí)現(xiàn)表面高度測(cè)量的技術(shù)。通過利用白色
光源的低相干性，只有當(dāng)光程差在相干長(zhǎng)度內(nèi)，干涉圖案才會(huì)出現(xiàn)。因此，它使精確微觀測(cè)量成為可能。使用一個(gè)氙燈搭建了一個(gè)邁克耳孫
干涉儀，用于測(cè)量具有平滑變化前表面的樣品。
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光電）
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