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morningtech:改變了tooling參數(shù),那么晶控儀為達(dá)到同樣的樣品厚度(設(shè)計(jì)厚度),監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實(shí) 比例 未變,那樣品上的厚度也必將變化。 W_ hckq. (2018-10-17 11:57) N++jI(
ouyuu:TOOLING是個(gè)比例。 oTPPYi[r 因?yàn)槲恢,角度,遮擋的不同?span style="display:none"> wap@q6fz< 膜厚儀上得到的膜厚和實(shí)際鍍?cè)谄由系哪ず袷遣灰粯拥摹?span style="color:gray "> (2018-10-17 08:46) -xc*R%k
morningtech:tooling變了,顯示厚度不變,頻率變化是變的。 i+x$Y)= 晶控顯示厚度讀數(shù)是帶了tooling值的,只是給用戶看的,內(nèi)部計(jì)算到的厚度是變的。 IFrq\H0 一個(gè)式子三個(gè)量, 一個(gè)量(顯示厚度,即設(shè)計(jì)厚度)不變,另兩個(gè)同時(shí)變,呵呵。 (2018-10-17 16:02) 3