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    [討論]膜厚儀tooling問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線cugzqq
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-10-17
    關(guān)鍵詞： 膜厚儀
    請問大家，為什么修改tooling膜的厚度也會變化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？謝謝！
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    TOOLING是個比例。 ],~H3u=s3  
    因為位置，角度，遮擋的不同， $'x#rW>v  
    膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。
    離線morningtech
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    定義上，膜厚儀中材料 Tooling =  樣品上層厚度/晶振片上層厚度 r3NdE~OAi