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    [討論]膜厚儀tooling問題 [復制鏈接]

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    離線morningtech
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2018-10-18
    這容易繞人
    離線ouyuu
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2018-10-18
    膜厚儀直接監(jiān)控的是水晶片的震蕩頻率。 6</xL9#/  
    水晶膜厚是根據你設定的材料參數算出來的。 c23oCfB>  
    TOOLING只是參數的一種,用來折算到你實際片子上的膜厚。 s3z$e+A8  
    另外各種材料的密度PID參數其實也是不同的。 WJQvB=D&  
    如果實在搞不懂把TOOLING設為1,實際膜厚自己折算就是。
    離線morningtech
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2018-10-20
    Tooling是鍍膜入門中比較簡單的一個問題,設成100%是種方法,有其好處。但不很建議這么做,因為這樣會把膜系改的面目全非;換一個膜系時,也要把這個系數乘進每一層。 \.0^n3y  
    @:j}Jmg  
    @ju@WY45$^  
    g,Lq)'N;O  
    離線ouyuu
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 2018-10-20
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:Tooling是鍍膜入門中比較簡單的一個問題,設成100%是種方法,有其好處。但不很建議這么做,因為這樣會把膜系改的面目全非;換一個膜系時,也要把這個系數乘進每一層。
    (2018-10-20 18:20) B5gj_^  
    "C?#SO B  
    你說的其實是通用性問題。即使是通用性不好的設備, 7.-V-?i  
    設備如果設定了各自的TOOLING,膜系也可以設備間互相拷。 ".f ;+wH  
    否則就需要根據每臺設備進行換算,這容易出錯。 KMt`XaC9e  
    d]`CxI]  
    但實際上如果設備通用性好(比如修正板可以各臺通用) a! (4Ch  
    直接互相拷也沒啥問題的。
    離線爾雅
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2018-11-28
    回 cugzqq 的帖子
    cugzqq:問題是:晶振 頻率變化與質量增加之間是存在公式,根據每秒頻率的變化確認厚度的變化, 晶控讀數不變,頻率變化也是不變化的,更改tooling是改變了膜厚儀什么地方使得實際厚度變了?[表情] (2018-10-17 14:02)  kR]!Vr*yh  
    K6y :mJYp\  
    你這個理解不對。 }>)@WL:q  
    沒你想那么復雜,膜厚儀,晶振片如何工作和這個沒什么直接關系。 (*