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    [討論]膜厚儀tooling問題 [復制鏈接]

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    離線cugzqq
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-10-17
    關鍵詞： 膜厚儀
    請問大家，為什么修改tooling膜的厚度也會變化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？謝謝！
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    TOOLING是個比例。 tS.b5$Q  
    因為位置，角度，遮擋的不同， \crb&EgID  
    膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。
    離線morningtech
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-10-17
    定義上，膜厚儀中材料 Tooling =  樣品上層厚度/晶振片上層厚度 [q|Q]O0  
    如ouyuu說，就是個比例系數(shù)。 [A