2018年11月29日，由中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目“超分辨光刻裝備研制”順利通過(guò)驗(yàn)收。驗(yàn)收專(zhuān)家組由中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究院許祖彥院士擔(dān)任組長(zhǎng)。該項(xiàng)目組結(jié)合實(shí)際應(yīng)用需求，通過(guò)技術(shù)的延伸，實(shí)現(xiàn)了系列化的超分辨光刻裝備研制，解決了多種微納功能材料和器件的加工難題，并實(shí)現(xiàn)了相關(guān)器件的制造，相關(guān)器件已在多家科研院所和高校的重大研究任務(wù)中取得應(yīng)用。 e