摘要：光斑質量直接影響激光位移傳感器測量的精度。為了提高激光位移傳感器傳感探頭光學系統(tǒng)的成像質量，設計了傳感探頭四片式微小型光學系統(tǒng)。本文在理想成像基礎上，分析光束在光學系統(tǒng)中能量傳遞的變化規(guī)律，對比光電探測器的感光能力，利用光學設計軟件（ZEMAX）實現(xiàn)了激光位移傳感器傳感探頭微小型光學系統(tǒng)的設計。通過理論計算分析，嚴格控制傳感探頭孔徑光闌的大小，對光學系統(tǒng)進行優(yōu)化處理，成像最大彌散斑半徑低于3.3 μm，空間分辨率120 lp/mm以下的傳遞函數MTF （Modulation Transfer Function）值大于0.5，光線扇形圖的最大像差小于5 μm，畸變量低于0.1859%。該光學系統(tǒng)具有良好的成像效果，可以滿足激光位移傳感器探測系統(tǒng)對成像系統(tǒng)成像光斑質量的要求，以保證傳感器的測量精確度優(yōu)于5 μm。 $5Ff1{
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關鍵詞 ： 微小型光學系統(tǒng), ZEMAX, 光斑質量
