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研究人員實現(xiàn)高千瓦范圍激光功率實時測量 據(jù)麥姆斯咨詢報道，美國國家標準與技術研究院（NIST）的研究人員顯然意識到了這些挑戰(zhàn)，并在最近設計了一種測量高千瓦范圍（高達500 kW）激光功率的系統(tǒng)。他們使用一個反射鏡攔截并反射99.9％的光束，從而使光束可以繼續(xù)執(zhí)行其原來的功能。這款裝置大約相當于一個鞋盒的大小，能夠精確地抵消誤差來測量撞擊光子的力（輻射壓力，一個100 kW的光束，大約330 mg）。 但是這種方法無法兼容強度低得多的數(shù)百瓦量級的激光束，因此NIST的研究人員又設計了一種完全不同的傳感方案。他們不再測量撞擊在反射鏡上的微小激光力，而是設計了一種概念上簡單的“智能反射鏡”方案（圖1）。新設計既緊湊又適合嵌入光路，因此不會干擾激光的使用，這在實際應用中是一大優(yōu)勢。  圖1.在這款智能反射鏡原型中，激光從黑色塑料環(huán)中間的布拉格反射鏡硅板的高反射表面被反射 這款傳感器的核心是一個基于MEMS的電容組件，它由上下兩片相同的板組成，每個板的寬度約為20 mm，間隔42.5 um（圖2）。上方的硅板傳感元件通過三個窄螺旋支架（寬度為265 um，厚度為380 um，長度為45 mm）附接到外圍的硅環(huán)上，它被制造成分布式的布拉格反射鏡，一種由硅和二氧化硅交替層制成的高反射率反射鏡。與傳統(tǒng)的反射鏡不同，通過調諧交替層的間隔和分布，它能夠在所需波長下獲得最大的反射率。  圖2.展示了這款MEMS傳感反射鏡系統(tǒng)的示意圖（a）和所制造的傳感器原型照片（b） 耦合的上下兩片硅板因為能夠做相同地（或非常接近地）運動，因而可以抑制共模機械噪聲，例如振動或傾斜。研究員John Lehman評價說：“如果設備受到物理移動或振動，兩塊板都會一起運動，因此硅板上的凈力主要是輻射壓力，而不會受到任何環(huán)境影響�！� 投射到上方硅板上的激光會產生一個力，使其靠近下方硅板，并改變整個組件的電容；兩塊硅板之間的間距與光子壓力直接相關。為了測量電容的變化，原型裝置采用了開環(huán)信號處理測重（圖3）。  圖3 簡化框圖展示了施加到可變電容器C1的光學力。通過鎖相放大器對與光學力相關的AC橋信號進行測量，并且可以添加一個伺服控制器用于C1電極間距的閉環(huán)控制。 開環(huán)布置是高度非線性的。需要仔細表征以確定初始零點靜止狀態(tài)，以正確測量傳感器對激光功率的響應。 為了增強性能，他們計劃采用閉環(huán)零指示器方法，這種方法在高性能測量中很常見，通過一個伺服控制器用靜電力將傳感硅板偏轉到預設的偏置點。然后，當兩個硅板之間的間距減小時，伺服控制器調節(jié)該偏置力以使MEMS彈簧和硅板返回其原始零位。 雖然閉環(huán)架構需要額外的電路，但它會帶來更好的性能，并消除一些誤差源，例如傳感器彈簧常數(shù)。 他們的概念驗證裝置使用250 W激光器在開環(huán)下運行。其響應時間低于20 ms，本底噪聲為2.5 W／√Hz。 |
