摘要 s5_[[:c=^  
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復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 #2<.0@@ TI  

圖片:1-1Z515103219408.png

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1. 本案例主要說明： 56Z 1jN^U  
 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過： 2MS1<VKZ@  
- 基于介質(zhì)的定義類型 $p#)xx7  
- 基于表面的定義類型 oJE~dY$Q  
 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 +&6R(7XC  
 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 >`R}ulz)  
NokAP|<y  
2. 光柵工具箱初始化 o?BcpWp  
 初始化 &ejJf{id  
- 開始→ q+<X*yC  
光柵→ H`odQkZ!  
一般光柵光路圖(3D光柵) u/-ul  
l*V]54|ON3  

圖片:1-1Z51510325XH.png

FH:^<^M  
 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。 E%@,n9T~"  
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3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 A Ch!D>C1  
 首先，必須先定義基底的厚度與材料 SIQ