摘要
Zd88+GS,# K|l}+:k SUv'cld 干涉測(cè)量是一種
光學(xué)計(jì)量的重要技術(shù)。 它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓,缺陷,
機(jī)械和高
精度熱變形等領(lǐng)域的測(cè)量。 作為一個(gè)典型的例程,在非
序列場(chǎng)追跡的幫助下,我們?cè)赩irtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的馬赫-曾德爾
干涉儀,本案例清楚地展示了
光學(xué)元件的傾斜和移位對(duì)干涉條紋圖案的影響。
z;y{QO 9 )!} 建模任務(wù)
s 0_*^cZ |rG)Q0H, \<\H1;=.@' 元件傾斜引起的干涉條紋
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