對(duì)于故障分析而言，微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會(huì)放出光子(Photon)。舉例說明：在P-N結(jié)加偏壓，此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱，而P的空穴也容易擴(kuò)散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination t,qz%J&a  
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服務(wù)內(nèi)容：1.P-N接面漏電；P-N接面崩潰  -to