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微光顯微鏡EMMI原理 微光顯微鏡EMMI原理對于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當有用，且效率極高的分析 工具，主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時N的電子很容易擴散到P，而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。 偵測到亮點之情況 |
微光顯微鏡EMMI原理微光顯微鏡EMMI原理對于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當有用，且效率極高的分析 工具，主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時N的電子很容易擴散到P，而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。 偵測到亮點之情況 |