摘要
Q
jY}$  
'sUOi7U  
對(duì)于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來(lái)說(shuō)，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問(wèn)題。對(duì)于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于預(yù)定義方向的級(jí)次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過(guò)90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 a~0 ~Y y  
l%"DeRp,/  

圖片:1-1ZR3110153312.png

KqntOo} y)  
M> WWP3  
建模任務(wù) 5S!#^>_  
HZRFE[ 9nb  

圖片:1-1ZR31102241U.png

0q"4\#4l  
oLKliA=q  
1階的參數(shù)優(yōu)化 yO%^[c?  
3Jizv,?  

圖片:1-1ZR3110300146.png

JHa1lj  
auK9wQ%\  
結(jié)果-容差分析  YFm%W@  
giNXXjl  

圖片:1-1ZR311033c64.png

yl~;!  
1!MJ+?Jl  
結(jié)果-容差分析