在顯著提升晶圓良率的同時，生產(chǎn)效率也穩(wěn)步提高，由上海福賽特智能設(shè)備有限公司獨(dú)立研發(fā)的國內(nèi)首款LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)今年量產(chǎn)，長三角G60科創(chuàng)走廊研發(fā)成果填補(bǔ)了行業(yè)空白。 [ K/l;Zd  
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昨天下午，記者走進(jìn)上海福賽特智能設(shè)備有限公司生產(chǎn)車間，看見數(shù)十臺LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)一字排開，技術(shù)人員正在對月底即將交付客戶的設(shè)備進(jìn)行最后的調(diào)試。這批設(shè)備具有獨(dú)立的潔凈空間，“實(shí)現(xiàn)了無人化操作，可最大程度提高產(chǎn)品品質(zhì)和良率，同時保證了產(chǎn)品信息可跟蹤可回溯。”該公司智能設(shè)備事業(yè)部副總經(jīng)理劉純君介紹說，這批設(shè)備是交付給三安集團(tuán)的，三安集團(tuán)作為國內(nèi)LED晶圓制造業(yè)的龍頭企業(yè)，對產(chǎn)品品質(zhì)要求很高。 <jJ'T?,  
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