掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應用于化學、生物、醫(yī)學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業(yè)部門。如圖1所示，是掃描電子顯微鏡的外觀圖。 jD<{t  
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特點 IYS)7`{]  
制樣簡單、放大倍數(shù)可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等，對于導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。 rrBsb -
 
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基本結構 gM u"2I5  
從結構上看，如圖2所示，掃描電鏡主要由七大系統(tǒng)組成，即電子光學系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。 q1"$<# t  
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圖2：掃描電子顯微鏡結構圖（圖片來源：西南石油大學能源材料實驗教學中心） fzb29 -  
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其中最重要的三個系統(tǒng)是電子光學系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。 |,gc_G  
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