摘要
.WglLUJ:Z Jn(|.eT| 高數(shù)值
孔徑物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在
聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。
VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過(guò)光場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
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6heK8*.T =>*}qen 建模任務(wù)
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w_@6!zm *`s*l+0b 入射平面波
:CM2kh"Iu 波長(zhǎng) 2.08 nm
^g'uR@ uU 光斑直徑： 3mm
}2=~7& ) 沿x方向線偏振
af'ncZ@ U Na\&}GSf^ 如何進(jìn)行整個(gè)
系統(tǒng)的光線追跡分析？
iR4"I7J 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？
MDpx@.A, Kd}%%L 概覽
be6`Sv"H •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。
b#(QZ •接下來(lái)，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對(duì)樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。
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