摘要 f^tCD'Vmi  
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 %,l+
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圖片:1-191014101922T4.png

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建模任務(wù) DH#n7s'b  
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圖片:1-191014101951344.png

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入射平面波 yEaim~  
波長 2.08 nm Ly?%RmHK  
光斑直徑： 3mm 9rB,7%@EL  
沿x方向線偏振 +x7b9sHJ  
-FAAP&LG  
如何進(jìn)行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ @Gh?|d7bD  
如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ O3?3XB> <  
Zd~l_V f  
概覽 w $\p\}~,  
•樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 bVB_KE  
•接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 zfAkWSY  
#s'UA!)  

圖片:1-19101410202X92.png

   5$v,%~$Xds  
光線追跡模擬 jLANv{"  
•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 /~,|zz  
•點(diǎn)擊Go！ Pl@3=s!~>~  
•獲得3D光線追跡結(jié)果。 d!V;\w  
our$Ka31  

圖片:1-1910141020535H.png

S(K}.C1x  
   Px!M^ T!Pi  
光線追跡模擬 PRs[!EB6  
•然后，選擇“光線追跡”（Ray Tracing）作為模擬引擎。 [7K-
L6X  
•單擊Go！ l17sJ!