EMMI（微光顯微鏡） %';DBozZ  

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對于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當有用，且效率極高的分析工具，主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時N的電子很容易擴散到P， 而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。 [@s5v  
偵測到亮點之情況 ['0^gN$:e  
會產(chǎn)生亮點的缺陷：1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應；4閂鎖效應； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理損傷等。 x1:1Jj:  
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偵測不到亮點之情況   `"bp-/  
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