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半導(dǎo)體術(shù)語解釋 （五） 空氣中約4/5是氮?dú)�，氮�(dú)馐且话捕ǖ亩栊詺怏w，由于取得不難且安定，故Fab內(nèi)常用以當(dāng)作Purge管路，除去臟污、保護(hù)氣氛、傳送氣體(Carrier Gas)、及稀釋(Dilute)用途，另外氮?dú)庠诹阆?/font> 196℃(77°F)以下即以液態(tài)存在，故常被用做真空冷卻源。 |
半導(dǎo)體術(shù)語解釋 （五）空氣中約4/5是氮?dú)�，氮�(dú)馐且话捕ǖ亩栊詺怏w，由于取得不難且安定，故Fab內(nèi)常用以當(dāng)作Purge管路，除去臟污、保護(hù)氣氛、傳送氣體(Carrier Gas)、及稀釋(Dilute)用途，另外氮?dú)庠诹阆?/font> 196℃(77°F)以下即以液態(tài)存在，故常被用做真空冷卻源。 |