mCKk*5ws5" ;HOPABWz) 掃描
電子顯微鏡SEM
j;K#] 北軟檢測
芯片分析
y|_Eu: ix Z)tNz 掃描電子顯微鏡SEM分析
原理:用電子技術(shù)檢測高能電子束與樣品作用時產(chǎn)生二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線等并放大成象
U\+&cob. 譜圖的表示方法:背散射象、二次電子象、吸收電流象、元素的線分布和面分布等
(sw-~U% 提供的信息:斷口形貌、表面顯微
結(jié)構(gòu)、
薄膜內(nèi)部的顯微結(jié)構(gòu)、微區(qū)元素分析與定量元素分析等
em2_pq9q 掃描電子顯微鏡SEM應(yīng)用范圍:
wHsB,2H