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FIB測(cè)試，F(xiàn)IB檢測(cè)，F(xiàn)IB試驗(yàn) FIB測(cè)試，F(xiàn)IB檢測(cè)，F(xiàn)IB試驗(yàn)， FIB含義：FIB 是英文 Focused Ion Beam的縮寫,依字面翻譯為聚焦離子束.簡(jiǎn)單的說(shuō)就是將Ga(鎵)元素離子化成Ga+, 然后利用電場(chǎng)加速.再利用靜電透鏡(electrostatic)聚焦,將高能量(高速)的Ga+打到指定的點(diǎn). 基本原理與SEM類似,僅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)FIB聚焦離子束是針對(duì)樣品進(jìn)行平面、界面進(jìn)行微觀分析。檢測(cè)流程包括：樣品制定、上機(jī)分析、拍照等，提供界面相片等數(shù)據(jù)。 FIB主要用途： 1、電路修正, 用于驗(yàn)證原型,改善bug，節(jié)省開(kāi)支，增快上市時(shí)間。 2、縱面的結(jié)構(gòu)分析可直接于樣品上處理,不需額外樣品準(zhǔn)備。 |
