三星新EUV光刻技術(shù)生產(chǎn)線開始量產(chǎn)
據(jù)外媒報道,三星韓國的新的尖端半導(dǎo)體生產(chǎn)線已開始批量生產(chǎn),主要是三星第一條致力于極紫外(EUV)光刻技術(shù)的半導(dǎo)體V1生產(chǎn)線,將會使用7納米(nm)以下的工藝生產(chǎn)芯片。
這條生產(chǎn)線目前正在生產(chǎn)采用7和6納米工藝技術(shù)的最先進(jìn)的移動芯片,并將繼續(xù)采用對電路進(jìn)行打磨,直到3納米工藝制程。隨著V1生產(chǎn)線的投入使用,三星現(xiàn)在在韓國和美國共有6條生產(chǎn)線。 根據(jù),到2020年底,V1生產(chǎn)線的累計總投資將達(dá)到60億美元,預(yù)計7納米及以下工藝節(jié)點的總產(chǎn)能將比2019年翻三番。 關(guān)鍵詞: EUV光刻
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