摘要 20moX7L  
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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 e6R"W9  
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圖片:1-20040G35K1523.png

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光柵詳細說明 6g"<i}_|  
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圖片:1-20040G35RC63.png

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•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 j?,*fp8  
•可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 'sF563kE  
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光柵階次分析器設(shè)置 ,xz^k/.  
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•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 m6x. "jG  
•可以指定各種輸出選項。 2`I;f/Sd  
•可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 +lT]s#Fif  
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圖片:1-20040G35ZX24.png

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