摘要
d@4!^vD; <'_GQM`G 光柵的
衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。
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f4T0Y["QA WG luY>C; 光柵詳細(xì)說明
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g tGK V X/Rx] }[ •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。
&:#8ol(n5b •可以在堆棧中指定光柵
參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。
l_-n&(N2<[ cEjdImAzU 光柵階次分析器設(shè)置
n{r#K _ y]_8.
0zM •定義光柵
結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。
MxEAs}MDv •可以指定各種輸出選項(xiàng)。
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pB:LPEsK •可以在
光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。
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e @-Mlq) ?67I|@^ 常規(guī)設(shè)置
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<?{}Bo0xG xM//] •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。
x <\D@X^ •另外，可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。
@H%=%ZwpO eu]iwOc&p 單個(gè)階次設(shè)置
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5v F}F^ Q_0x6]/! •在“單個(gè)階次”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否記錄單個(gè)階次的信息。
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•如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)
優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項(xiàng)非常有用。
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