SYNOPSYS中由許多MTF分析方法,都可在對話框MOP中找到,也可使用命令。 yS#)F. 一、卷積 MTF,精確 OPD(MTF);卷積 MTF,插入 OPD(ZMTF)。 G47(LE"2b 1. 單一頻率顯示: J?6.yL;
?^Gi;d5
k+9*7y8w [ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR
2.通過可選繪制圖分析21個頻率顯示:
Vn&{yCm3
[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ]
第一種方式是在FREQ的空間頻率下計算子午和弧矢的MTF,對于聚焦透鏡而言頻率單位為 cy / mm,對于 AFOCAL 而言頻率單位為 cy / mr。助記符“MTF”使用精確光線選項,而“ZMTF”使用波前插值法。如果開關 84 關閉,這是 Zernike 展開式,如果開啟,則是線性樣式?梢詾 ICOL 輸入明確的顏色編號,為主要顏色輸入字母“P”,或者輸入字母“M”,表示多色分析。如果輸入 P,則第二種形式給出 21 個頻率的 MTF,并且可選地給出曲線圖。
二、多視場卷積 MTF,精確 OPD( MFF);多視場卷積 MTF,插值 OPD( MZMTF)
從對話框MMF中或命令模式下獲得四個視場點的卷積MTF。
uu7 ?,WT
MFF (exact-ray method)
或 MZMTF [ GRID ] (Interpolationmethod)
[ HBAR HBAR HBAR HBAR HBAR …]
[ HGEN NHBAR]
ICOL{ICOL/M/P}
[GBAR GBAR]
{PLOT/GO}
當沒有給出 HBAR條目時,默認視場為 0,0.5,0.75 和 1.0。 HGEN條目創(chuàng)建了一個 NHBAR 視場的數(shù)組,均勻分布在 0 到 1.0 之間。在 HBAR或 NHBAR 上可以指定最多 20 個視場點。
MZMTF 選項使用的是波前插值法,如果開關 84 關閉,它將是一個 Zernike 展開式,如果開關 84 打開,它將是一個線性樣式。這些情況可以接受可選的[GRID]輸入(默認為 80)。
如果透鏡校正不好,并且您想在低頻下檢查 MTF,那么在打開開關 84 的情況下,使用 MZMTF 選項可以獲得更好的精度。
三、 卷積 MTF視場(MOF); MOF的插值(ZMOF)
r ^=rs!f@
[Z]MOF { ICOL / M / P } 0 FREQ { GRID/ 0 } GBAR [ Q ] [FREQ FREQ FREQ]
這里, MOF 利用精確的光線衍射 MTF 計算,并且 ZMOF在光瞳上插入每個點得到近似 OPD,如果開關 84 關閉則使用 Zernike 方法,如果開啟則使用線性樣式。
FMOF 和 FZMOF選項執(zhí)行從 HBAR=-1 到+1 的完整跟蹤,而其他選項執(zhí)行從 0到+1 的跟蹤。
%G0J]QY{(x FREQ 是第一個要分析的空間頻率。 l7h6R$7; 0
GRID 是網(wǎng)格編號,從 20 到 80; 這僅適用于插值選項。 -VZn`6%s
GBAR 是傾斜視場點。必須為此定義傾斜視場以表示相關內(nèi)容。 *y+N-uq
Q 設置 quiet 操作:程序將不會列出所有繪制的 MTF。 TxJoN]Z.
FREQ ...最多可以分析三個空間頻率。
四、焦點卷積 MTF(TFMTF)
.lsD+}
從對話框 MTM 中,可以在給定空間頻率處將卷積 MTF 繪制為最多四個視場點和 10 個波長處的焦點位置的函數(shù)。命令模式輸入是:
、 v~8CpC
主波長中的默認值為 HBAR =(0,0.5,0.75,1.0)和 GBAR = 0。 “M”表示多色分析, “P”表示默認顏色。
HBAR 線路上可能設定最多 20 個視場點;如果輸入視場, 將生成一組 NHBAR字段點,這些點均勻分布在 0 到 1 之間。 后者需要命令模式輸入。
該程序還可以在最多四個空間頻率的單個視場點處繪制 MTF。如果在命令行中設置多個頻率,則將分析所有頻率,并且僅使用第一個HBAR。在這種情況下,需要命令模式列表。
o*MiKgQ& 由于該程序使用精確光線追跡而不是某些其他 MTF 選項可用的插值選項,因此不應在低于衍射截止值的約 1/40 的空間頻率下設置它。
該程序評估總共 7 個焦點位置,由焦點增量 DF 分隔。
五、傅立葉變換 MTF(DMTF)
9sP;s^#t7U
[W]DMTF {ICOL / M / P} HBAR NRYS 0 GBAR[P]
#|PPkg%v<
六、幾何 MTF(GMTF)
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[ FCO FREQ ]
GMTF{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ]
其中ICOL-顏色編號,可選M指定使用先前輸入的數(shù)據(jù)執(zhí)行多色分析。P只設置主要顏色。
HBAR-指定物體Y分數(shù)坐標。
G]]"Jc NRYS-給出所需的光線數(shù)量。GMTF要分析的圖像可能包含多達20000條光線。
0-占位符,用于格式一致性。
GBAR-物體X分數(shù)坐標。
Sp7VH+ P-若輸入,則繪制MTF。
七、焦點幾何 MTF(TFG)
、 !S.O~Kq
s5bqS'% [ FCO FREQ ]
BGd# \2 TFG{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ] X<%`
DF { 1 / 3 / 5 }DELTAF
其中 DELTAF 是焦點偏移,根據(jù)DF輸入,它將應用于1,3或5個單獨的評估。
=oE(ur
如果 ICOL 是顏色編號或“P”,則將追跡單一顏色,而字母“M”將生成多色 GMTF。
圖像每個可包含多達 20,000 個光線,并且離焦運動沿著圖像表面的局部 Z 軸展開。 考慮所有孔徑,漸暈和羽化,建議使用 FCO 輸入。如果需要繪圖,則應輸入可選的[P]。
八、多視場幾何 MTF(MGMTF)
reQr=OAez
幾何 MTF 可以在對話框 MMG中最多四個視場點處獲得, 也可以選擇繪制,或在命令模式下最多輸入20個視場。
FCOFREQUENCY
MGMTF NRYS ]OSq}ul
[HBARHBAR HBAR HBAR HBAR ......] ^4b;rLfk@
[HGENNHBAR] 3S