SYNOPSYS中由許多MTF分析方法，都可在對話框MOP中找到，也可使用命令。 ^}UFt L i 一、卷積 MTF，精確 OPD（MTF）；卷積 MTF，插入 OPD（ZMTF）。 %v0;1m 1. 單一頻率顯示： <Wd_m?z 
)Wk&c8|y
NAO0b5-h [ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR
2.通過可選繪制圖分析21個頻率顯示：
94?/R hs5
[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ]
第一種方式是在FREQ的空間頻率下計算子午和弧矢的MTF，對于聚焦透鏡而言頻率單位為 cy / mm，對于 AFOCAL 而言頻率單位為 cy / mr。助記符“MTF”使用精確光線選項，而“ZMTF”使用波前插值法。如果開關(guān) 84 關(guān)閉，這是 Zernike 展開式，如果開啟，則是線性樣式�？梢詾� ICOL 輸入明確的顏色編號，為主要顏色輸入字母“P”，或者輸入字母“M”，表示多色分析。如果輸入 P，則第二種形式給出 21 個頻率的 MTF，并且可選地給出曲線圖。
二、多視場卷積 MTF，精確 OPD（ MFF）；多視場卷積 MTF，插值 OPD（ MZMTF）
從對話框MMF中或命令模式下獲得四個視場點的卷積MTF。
4m%Yck{R
MFF (exact-ray method)
或 MZMTF [ GRID ] (Interpolationmethod)
[ HBAR HBAR HBAR HBAR HBAR …]
[ HGEN NHBAR]
ICOL{ICOL/M/P}
[GBAR GBAR]
{PLOT/GO}
當(dāng)沒有給出 HBAR條目時，默認視場為 0,0.5,0.75 和 1.0。 HGEN條目創(chuàng)建了一個 NHBAR 視場的數(shù)組,均勻分布在 0 到 1.0 之間。在 HBAR或 NHBAR 上可以指定最多 20 個視場點。
MZMTF 選項使用的是波前插值法，如果開關(guān) 84 關(guān)閉，它將是一個 Zernike 展開式，如果開關(guān) 84 打開，它將是一個線性樣式。這些情況可以接受可選的[GRID]輸入(默認為 80)。
如果透鏡校正不好，并且您想在低頻下檢查 MTF，那么在打開開關(guān) 84 的情況下，使用 MZMTF 選項可以獲得更好的精度。
三、 卷積 MTF視場（MOF）； MOF的插值（ZMOF）
;<=z^1X9
[Z]MOF { ICOL / M / P } 0 FREQ { GRID/ 0 } GBAR [ Q ] [FREQ FREQ FREQ]
這里， MOF 利用精確的光線衍射 MTF 計算，并且 ZMOF在光瞳上插入每個點得到近似 OPD，如果開關(guān) 84 關(guān)閉則使用 Zernike 方法，如果開啟則使用線性樣式。
FMOF 和 FZMOF選項執(zhí)行從 HBAR=-1 到+1 的完整跟蹤，而其他選項執(zhí)行從 0到+1 的跟蹤。
6%V#_] FREQ 是第一個要分析的空間頻率。 HP=5 a.
GRID 是網(wǎng)格編號，從 20 到 80; 這僅適用于插值選項。 4 g8 t
GBAR 是傾斜視場點。必須為此定義傾斜視場以表示相關(guān)內(nèi)容。 +E+I.}sOB
Q 設(shè)置 quiet 操作：程序將不會列出所有繪制的 MTF。 U^Iq]L
FREQ ...最多可以分析三個空間頻率。
四、焦點卷積 MTF（TFMTF）
[KMS/'; ]
從對話框 MTM 中，可以在給定空間頻率處將卷積 MTF 繪制為最多四個視場點和 10 個波長處的焦點位置的函數(shù)。命令模式輸入是：
、 9Qq%Fw_
主波長中的默認值為 HBAR =（0,0.5,0.75,1.0）和 GBAR = 0。 “M”表示多色分析， “P”表示默認顏色。
HBAR 線路上可能設(shè)定最多 20 個視場點;如果輸入視場， 將生成一組 NHBAR字段點，這些點均勻分布在 0 到 1 之間。 后者需要命令模式輸入。
該程序還可以在最多四個空間頻率的單個視場點處繪制 MTF。如果在命令行中設(shè)置多個頻率，則將分析所有頻率，并且僅使用第一個HBAR。在這種情況下，需要命令模式列表。
keJ-ohv) 由于該程序使用精確光線追跡而不是某些其他 MTF 選項可用的插值選項，因此不應(yīng)在低于衍射截止值的約 1/40 的空間頻率下設(shè)置它。
該程序評估總共 7 個焦點位置，由焦點增量 DF 分隔。
五、傅立葉變換 MTF（DMTF）
L?(m5u~b
[W]DMTF {ICOL / M / P} HBAR NRYS 0 GBAR[P]
6&btAwvOHx
六、幾何 MTF(GMTF)
xv7nChB
[ FCO FREQ ]
GMTF{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ]
其中ICOL-顏色編號，可選M指定使用先前輸入的數(shù)據(jù)執(zhí)行多色分析。P只設(shè)置主要顏色。
HBAR-指定物體Y分數(shù)坐標(biāo)。
gu1n0N`b NRYS-給出所需的光線數(shù)量。GMTF要分析的圖像可能包含多達20000條光線。
0-占位符，用于格式一致性。
GBAR-物體X分數(shù)坐標(biāo)。
}:\e "Bfv P-若輸入，則繪制MTF。
七、焦點幾何 MTF(TFG)
、 ]{AHKyA{:
[ FCO FREQ ]
b~?3HY:t~K TFG{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ] 0L \v i
DF { 1 / 3 / 5 }DELTAF
其中 DELTAF 是焦點偏移，根據(jù)DF輸入，它將應(yīng)用于1,3或5個單獨的評估。 $gdGII&n
如果 ICOL 是顏色編號或“P”，則將追跡單一顏色，而字母“M”將生成多色 GMTF。
圖像每個可包含多達 20,000 個光線，并且離焦運動沿著圖像表面的局部 Z 軸展開。 考慮所有孔徑，漸暈和羽化，建議使用 FCO 輸入。如果需要繪圖，則應(yīng)輸入可選的[P]。
八、多視場幾何 MTF（MGMTF）
UdFYG^i
幾何 MTF 可以在對話框 MMG中最多四個視場點處獲得， 也可以選擇繪制，或在命令模式下最多輸入20個視場。
FCOFREQUENCY
MGMTF NRYS ,]4.|A_[Rq
[HBARHBAR HBAR HBAR HBAR ......] ,U
