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用于測(cè)量光學(xué)元件散射光的緊湊型臺(tái)式散射儀

發(fā)布：飛躍小河 2020-04-20 14:30 閱讀：3101
光的散射特性對(duì)高端光學(xué)表面、膜層和材料的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用。對(duì)于光學(xué)表面，常常用粗糙度來確定光學(xué)表面受散射影響后的光學(xué)特性。對(duì)于諸如不均勻體、亞表面損傷和局部缺陷的散射常常會(huì)忽略掉，而這些來源的散射對(duì)系統(tǒng)有很大的影響，所以需要一個(gè)能在終端借測(cè)散射性質(zhì)的儀器來解決這一問題。在有些應(yīng)用中，可以觀察到由粗糙度直接過渡到散射的設(shè)置。   L@k;L  
測(cè)量高性能光學(xué)元件的散射光對(duì)儀器的要求非常嚴(yán)格，主要要求概括如下： wMPw/a;  
￭ 在相關(guān)的波長(zhǎng)下進(jìn)行測(cè)量（尤其是膜層） +GPT:\*q6  
￭ 高動(dòng)態(tài)范圍（對(duì)于可見光光學(xué)至少需要11個(gè)數(shù)量級(jí)） Jn <^Q7N  
￭ 高靈敏度（對(duì)于可見光光學(xué)等效噪聲ARS <10-6 sr-1），散射損耗在ppm級(jí)，粗糙度在亞納米量級(jí) :hhE=A>X  
￭ 小近角限值（對(duì)于成像應(yīng)用<1°） Mn }Z9S[  
￭ 3D功能（在入射面內(nèi)外測(cè)量） Sfoy8<j