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FEI Scios 2 DualBeam應(yīng)用介紹

發(fā)布:探針臺(tái) 2020-04-26 15:00 閱讀:1687
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聚焦離子束顯微鏡FIB/SEM/EDX FEI Scios 2 DualBeam技術(shù)指標(biāo) QMb^&?;s  
、技術(shù)指標(biāo) >UN vkQ:  
1、電子束電流范圍:1 pA - 400 nA; Ar`\ N1a  
2、電子束電壓:200eV-30 keV,具有減速模式 #: hVF/  
3、電子束分辨率:0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) U"x~Jb3]O  
4、大束流Sidewinder離子鏡筒; oFyeH )!  
5、離子束加速電壓500V-30kV(分辨率:3.0 nm); qy9i9$8  
6、離子束束流1.5pA-65nA,15孔光闌。 r<_2qICgP  
b`]M|C [5  
、配置情況  q)oN 2-  
1、GIS氣體注入:Pt沉積 eBvW#Hzp  
2、ETD SE、T1(筒內(nèi)低位)、T(高位)探頭 Xu%d,T$G  
3、Nav-camTM:樣品室內(nèi)光學(xué)導(dǎo)航相機(jī) 3kw}CaZ6  
4、AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自動(dòng)拼圖、NanoBuilder納米加工軟件。 b7v dk  
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、適用樣品 5mIXyg 0:  
半導(dǎo)體、金屬、陶瓷材料微納加工及觀察分析,成分分析 1 PIzV:L\