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    [求助]鍍膜材料校準因子如何算？ [復制鏈接]

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    離線gmss1111
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-04-27
    關(guān)鍵詞： 鍍膜膜系軟件校準因子
    小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè)，請教下如何計算鍍膜材料的tooling，比如說校準sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個峰，到底選哪個，怎么計算啊。 t%S2D  
     
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    離線morningtech
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-04-27
    為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個參數(shù)，用光控時老師把它叫作比例系數(shù)， O su 75@3  
    晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。 lVptA3F  
    理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計厚度了。 }.L:(z^L,Y  
    ?1afW)`a.v  
    定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% td!YwN*