小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè)，請教下如何計算鍍膜材料的tooling，比如說校準sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個峰，到底選哪個，怎么計算啊。 "8~PfLJ+  

為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個參數(shù)，用光控時老師把它叫作比例系數(shù)， Sh?eb  
晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。 J~50#vHY  
理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計厚度了。 t0Jqr)9}6  
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定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% 8H`L8: CM  
假定工藝不變情況下，第一次鍍膜時的Tooling值T1不夠準確，樣品實測厚度與設(shè)計厚度有偏差，需要修正。 ~O]{m,)n  
修正值  T2 = T1 * 樣品實測厚度/設(shè)計厚度 e1%kW1Z9  
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先思考一下，把你問題中的參數(shù)看怎么對應(yīng)到上面式子里。

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2樓講解的很詳細，謝謝大師，我這里有高純度SIO2便宜處理，由于今年訂單減少，大量高優(yōu)質(zhì)材料虧本出售。請給實體行業(yè)一點支撐。17873333033

自己用TFC擬合吧，先把sio2膜厚設(shè)定到350nm，然后慢慢減少，到和你實際的圖像重合。 =Y5m% ,Bq  
如果一個峰重合一個峰不重合，那就一點點的修折射率，（sio2折射率很穩(wěn)定，一般不用修） =\oL'>q  
這是最直觀的笨辦法。 Z0<s -eN:  
一般如果水晶放在最中央的話，水晶片上的膜厚會大于基片上的膜厚（一個是位置，另外一個有修正板擋住部分膜料）。所以基片上的膜厚只會小于350nm，不會大于350nm。

很好！

謝謝分享!!

水晶片上的厚度，有的時候  會小于鏡片上的厚度。 按實際測量的走就行了。

謝謝分享

謝謝分享。。