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我國(guó)開(kāi)發(fā)新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù) 可加工石墨烯
我國(guó)開(kāi)發(fā)新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù) 可加工石墨烯
發(fā)布:
cyqdesign
2020-05-11 08:08
閱讀:
8159
10日,記者從中科院長(zhǎng)春
光學(xué)
精密機(jī)械與物理研究所獲悉,來(lái)自該所等單位的研究人員,開(kāi)發(fā)了一種新型
飛秒
激光
等離子
激元光刻技術(shù)(FPL)。利用該技術(shù),研究人員在百
納米
厚的硅基氧化
石墨烯
薄膜
表面實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量微納周期
結(jié)構(gòu)
的快速制備。相關(guān)成果發(fā)表在《光:科學(xué)與應(yīng)用》上。