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漏電定位技術微光顯微鏡EMMI

發(fā)布:探針臺 2020-05-13 16:44 閱讀:2493
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漏電定位技術微光顯微鏡EMMI b;5&V_  
對于失效分析而言,微光顯微鏡是一種相當有用,且效率極高的分析工具,主要偵測IC內部所放出光子。在IC原件中,EHP Recombination會放出光子,例如:在PN Junction加偏壓,此時N的電子很容易擴散到P, 而P的空穴也容易擴散至N,然后與P端的空穴做EHP Recombination。 ?s-Z3{k  
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