微納米結(jié)構(gòu)分析FIB介紹： #y }{ 'rF?  
電子光學(xué) L,L>cmpM  
NICo非浸沒(méi)式超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描鏡筒，配有: wiXdb[[#  
· 高穩(wěn)定性肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，用于提供穩(wěn)定的高分辨率 分析電流 vkWh2z  
· 60 度雙物鏡透鏡，支持傾斜較大的樣品 T> cvV  
· 自動(dòng)加熱式光闌，可確保清潔和無(wú)接觸式更換光闌孔 )'BuRN8  
· 連續(xù)電子束電流控制和優(yōu)化的光闌角度 sBGYgBu!a  
· 電子槍安裝和維護(hù)簡(jiǎn)單 自動(dòng)烘烤，自動(dòng)啟動(dòng)，無(wú)需機(jī)械合軸 8jW"8~Y#0  
· 兩級(jí)掃描偏轉(zhuǎn) y<bA Y_-[  
· 雙物鏡透鏡，結(jié)合電磁透鏡和靜電透鏡 V)CS,w  
· 快速電子束閘* :!a'N3o>  
· 用戶向?qū)Ш顽R筒預(yù)設(shè) 5T)qn`%  
· 電子源壽命至少24個(gè)月 s*.CJ  
電子束分辨率 c`94a SnV  
zui佳工作距離下 E