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摘要 vkRi5!bR
l"zUv 可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描,以研究指定結構在不同配置下的性能。 7gS1~Q4\V2 VNtPKtx\ HOp-P8z 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) Fv)7c4 Sm2>'C 建模任務 ;*[9Q'lI* 5b6s4ZyV ag4`n:1 l~Lb!;
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