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摘要 ~B(4qK1G n`&U~s8w 可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 -701j'q{ 7y@Pa&^8 @\P;W(m.i 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) *lw_=MXSK 0aa&m[Mk 建模任務(wù) tWa)_y 4G>H FA3~|Zg &wE%<"aRAl 單次FMM仿真結(jié)果 2nIw7>.}f V0XvJ
\:ak '' Nf"r4%M<6 參數(shù)掃描(1D) {"QNJq#: X;c'[q ^ tg<K '>ssqBnI 參數(shù)掃描(2D) 25[I=ZdS sAD}#Zw$ 28J^DMOW ,1CIBFY 文件信息 6U,O*WJ%e ndz]cx %pd
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