上海微系統(tǒng)所在Ⅳ族GeSn納米線研究中取得進(jìn)展
近期,中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在Ⅳ族GeSn納米線生長制備及其光電探測應(yīng)用中取得進(jìn)展,相關(guān)工作以Ferroelectric Enhanced Performance of a GeSn/Ge Dual-Nanowire Photodetector 為題發(fā)表在Nano Letters 期刊上 (Nano Lett. 2020, 20, 5, 3872–3879)。 Ⅲ-Ⅴ族材料普遍具有優(yōu)良的光電特性,但卻面臨著與Si基CMOS工藝不兼容等問題,因此有必要發(fā)掘Ⅳ族材料的光電應(yīng)用潛力。此前已有基于GeSn薄膜結(jié)構(gòu)的光電探測等工作的相關(guān)報道,但是GeSn薄膜與Ge緩沖層之間較大的晶格失配嚴(yán)重影響了GeSn薄膜晶體質(zhì)量,從而導(dǎo)致其相應(yīng)的光電探測器暗電流較大,不利于實(shí)現(xiàn)低功耗應(yīng)用需求。 上海微系統(tǒng)所研究人員利用分子束外延技術(shù),成功制備出大面積、高密度且高長寬比的Ge納米線,并利用其作為模板,通過二次沉積法獲得了Sn組分可達(dá)~10%的GeSn/Ge雙層納米線結(jié)構(gòu)。由于納米線具有柔性且極高的比表面積,能夠通過彈性形變的方式自主弛豫釋放GeSn/Ge之間晶格失配引入的應(yīng)力,從而有效抑制GeSn/Ge界面處的缺陷形成。由于GeSn具有較窄的禁帶寬度,因此基于GeSn/Ge雙層納米線的光電探測器件比Ge納米線光電探測器具有更長的探測波長,延伸到2 μm以上。為了抑制窄禁帶寬度GeSn引起的暗電流增加,研究人員進(jìn)一步引入具有鐵電性的P(VDF-TrFE)離子膠作為柵介質(zhì),通過側(cè)柵調(diào)控大幅降低了GeSn/Ge雙層納米線光電探測器的暗電流與靜態(tài)功耗,從而實(shí)現(xiàn)了兼具長波長與低暗電流的光電探測,對于拓展Ⅳ族材料納米線結(jié)構(gòu)在光電探測領(lǐng)域的研究與應(yīng)用具有重要參考意義。 ![]() GeSn/Ge雙層納米線的分子束外延生長與形貌表征 |