處理器廠商開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)和制造新的處理器，其中一個(gè)重要的方面是計(jì)量學(xué)，它對(duì)整個(gè)過(guò)程中的制造步驟進(jìn)行分析，以確保你想要發(fā)生的事情是實(shí)際發(fā)生。計(jì)量學(xué)可以讓制造廠識(shí)別機(jī)器是否正常工作，也有助于對(duì)最終產(chǎn)品的表征，即通過(guò)禁硅片的某些電壓/頻率或分選，如果硅片特別差，可以在循環(huán)中提前丟棄，從而節(jié)省資金和時(shí)間。 M&P?/Zi=L  
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如同制造過(guò)程中的許多其他步驟一樣，在晶圓廠內(nèi)，計(jì)量是一個(gè)時(shí)間和空間密集型的工作。正如更好的光刻機(jī)轉(zhuǎn)向EUV目標(biāo)一樣，既能實(shí)現(xiàn)更小的特征，又能加快每片芯片的加工時(shí)間，計(jì)量的主要目標(biāo)是準(zhǔn)確的報(bào)告，這些機(jī)器的吞吐量提高，意味著在任何給定的運(yùn)行中都需要更少的機(jī)器，工藝節(jié)點(diǎn)步驟之間的延遲可以縮短。 Y<%)Im6v/  
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ASML公司宣布其多光束檢測(cè)工具生產(chǎn)線有了重大發(fā)展。新的eScan1000將單光束掃描過(guò)程轉(zhuǎn)移到九光束掃描過(guò)程中，ASML聲稱(chēng)，對(duì)于在線缺陷檢測(cè)應(yīng)用，這類(lèi)工具的吞吐量提高了600%。該工具適用于當(dāng)前生產(chǎn)的所有主要工藝節(jié)點(diǎn)以及5nm及以上。 JSXudz5c  
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該公司解釋說(shuō)，新的eScan1000工具包含一個(gè)電子光學(xué)系統(tǒng)，可以將一束主光束分成多個(gè)光束，同時(shí)還可以收集和處理這些次要光束的結(jié)果。該工具將串?dāng)_限制2%以下，以保持成像質(zhì)量，并使用高速模式提高了整體的吞吐量，新的計(jì)算硬件加速處理小束數(shù)據(jù)的速度比以前更快。此外，該工具還可在一定范圍的光束電流下，分配給它用于物理缺陷檢測(cè)和電壓對(duì)比檢測(cè)。ASML宣傳說(shuō)，它擁有一個(gè)專(zhuān)有的數(shù)據(jù)庫(kù)，在缺陷檢測(cè)能力方面表現(xiàn)出色，能發(fā)現(xiàn)更多傳統(tǒng)計(jì)量方法所遺漏的缺陷。 g.-{=kZ   
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據(jù)消息稱(chēng)，ASML已經(jīng)在過(guò)去一周內(nèi)將首臺(tái)eScan1000系統(tǒng)運(yùn)往硅谷某特定客戶(hù)，在客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行初步測(cè)試和鑒定。但沒(méi)有說(shuō)明客戶(hù)是誰(shuí)。ASML預(yù)計(jì)將擴(kuò)大eScan1000設(shè)備的范圍，以滿(mǎn)足客戶(hù)的特定需求，并表示將繼續(xù)開(kāi)發(fā)具有更多光束和更廣泛的光束分辨率的多光束技術(shù)。鑒于該工具的重要性，我們可能會(huì)在今年晚些時(shí)候的某個(gè)行業(yè)活動(dòng)中看到路線圖。 a4HUP*  
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