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摘要 3dheT}XV?p W T~UEK'
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干涉測量法是一項用于光學測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 >8M=REn4 sE:~+C6o: 建模任務(wù) n/9.;9b$I Is&0h|
QiKci%=SX M$YU_RPl+ 由于組件傾斜引起的干涉條紋 lDsT?yHS`Z C-)mP- |8
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