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摘要 $"sf%{~ Y1+f(Q WFtxEIrl3j <MY_{o8d 干涉測量法是一項用于光學測量的重要技術(shù)。它被廣泛應用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 oSxHTbp? "}EydG"= 建模任務(wù) ++xEMP) # *\PU F`'e/ vQztD_bX% 由于組件傾斜引起的干涉條紋 aVd{XVE 8He^j5 ]U]{5AA6 RzXxnx)]q 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 ceAK;v
o V"gnG](2l K5b8lc
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