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摘要 0`.3`Mk m99j]wr~c Y[Jt+p] 2g5Ft 斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測(cè)量儀器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測(cè)。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測(cè)試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓很敏感。 |M]#D0v B7r={P!0 建模任務(wù) r \+&{EEG sf )ojq6s r2A%.bL# dzJ\+
@4 觀測(cè)傾斜平面 [SGt ~bRJ 9s\(yC8h 4np,"^c e+jp03m\W 觀測(cè)柱面 $ZX^JWq kx,9n) ^% y<7>% )D\cm7WX^[ 觀測(cè)球面 w#.Tp-AZ;\
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