-%/,j)VKD kGBl)0pr`x 微透鏡陣列是由微米級透鏡組成的陣列。它具有尺寸小、集成度高的特點,能夠完成一些傳統(tǒng)光學元件無法完成的功能,構成一些新型的光學系統(tǒng)。微透鏡陣列不僅具有傳統(tǒng)透鏡的聚焦、成像等功能,還可以用在很多光電傳感器、高端照明、光束整形、光束勻化、光纖耦合和激光耦合等方面。 +poIgjq0
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T h- vG 基于VirtualLab Fusion的周期化功能,可以快速的構建各種微透鏡陣列,并使用局部平面界面近似(Local Plane Interface Approximation,LPIA)方法來對其進行物理光學分析,如像差以及衍射效應,從而更準確的評估微透鏡陣列的性能,并導出IGES、STL等加工文件以進行加工。 "'H7F,k' t-<[._:+
i_ODgc`H 目前,我們采用納米壓印技術加工微透鏡陣列,可以在玻璃、PET/PC、硅、金屬或集成電路晶圓等各種材料或器件表面制作微透鏡陣列。微透鏡的材質是高透光率、耐高溫的聚合物,如環(huán)氧樹脂或丙烯酸酯。 P+zI9~N[
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左圖:VirtualLab Fusion設計的微透鏡陣列 右圖:加工的微透鏡陣列結構
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