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蛾眼結(jié)構(gòu)可以減少反射率,原因在于:當(dāng)材料表面納米結(jié)構(gòu)尺度小于光波長時(shí),光波無法辨認(rèn)出該納米結(jié)構(gòu),而圓錐型的蛾眼結(jié)構(gòu)可以使材料表面的折射率沿深度方向呈連續(xù)變化,從而減小折射率急劇變化所造成的反射。 ,=a+;D]'
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對(duì)于抗反射蛾眼2D周期性亞波長結(jié)構(gòu),需要對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格的矢量計(jì)算和分析,通過使用VirtualLab Fusion提供的傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,F(xiàn)MM)以及參數(shù)運(yùn)行(New Parameter Run)和參數(shù)優(yōu)化(New Parameter Optimization)功能,可以實(shí)現(xiàn)不同角度以及不同波長條件下低反射率的蛾眼結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。 R$Rub/b6
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目前,我們采用納米壓印技術(shù),可以在玻璃或塑料膜表面制作大面積的蛾眼結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)減反效果。在可見光范圍內(nèi)可以將材料表面的反射率降低到小于0.2%。在紅外波段,結(jié)合納米壓印和等離子刻蝕工藝,可以在硅表面加工蛾眼結(jié)構(gòu)來減少其對(duì)紅外光的反射。 _^Z
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