近期，中國科學院上海光學精密機械研究所精密光學制造與檢測中心研究團隊結(jié)合化學深刻蝕和激光拋光對精磨后的熔石英玻璃進行加工，獲得了具有超光滑表面和高激光損傷閾值的熔石英元件。相關研究成果發(fā)表于Optics Letters。 ~@D{&7@  
v2vtkYQN  
熔石英元件的紫外激光損傷是制約高功率激光系統(tǒng)發(fā)展的關鍵問題。熔石英玻璃的傳統(tǒng)加工方法歷經(jīng)成型、研磨和機械化學拋光等工藝手段，該方法實現(xiàn)超光滑表面耗時長，且易引起元件的表面和亞表面缺陷，導致元件的表面損傷閾值大幅降低。 4`