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案例315(3.1) 0@zJa;z' ^ul1{ 該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化,紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能,如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 I &iyj99n +S(# 7 1. 線柵偏振片的原理 ]z^jz#>um& wz:e\ ! |