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案例315(3.1) PQ|69*2G 76.{0c 該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化,紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能,如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 7=]i~7uy ~XeFOMq 1. 線柵偏振片的原理 'B0{U4?
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