案例315（3.1） Vgg' 5o&. 0%b !ARix 該應(yīng)用案例說(shuō)明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長(zhǎng)線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長(zhǎng)和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 i9O;D*
w dp d` 1. 線柵偏振片的原理 8IQ qDEY^ q Xj]O3
mm 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 Ce.*yO<-
2. 建模任務(wù) 5W4Tp% Lda
a*3h|b<
QZ?%xN(4
全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 %'3Y? d
偏振元件的重要特性： }u&,;]
偏振對(duì)比度 |-zefzD|
透射率 }Lc8tj<
效率一致性 YX,xC-37y
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) 9'I$8Su BqG7E t 3. 建模任務(wù)： U+7!Vpq
x-z方向(截面) x-y方向(俯視圖)
Cz) /Bq 4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) FS^ie|8{D-
KpF/g[m 偏振片#1: 5y8ajae: 偏振對(duì)比度不小于50@193nm波長(zhǎng) ^>/] Qi 高透過(guò)率(最大化) v_L?n7c 光柵周期：100nm(根據(jù)加工工藝) t}m"rMbt 光柵材料：鎢(適用于紫外波段) YL kdT% 偏振片#2: me `|i-
