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案例385（2.0） Vy~$%H94 cB=u;$k@*
關(guān)鍵字：大角度設(shè)計(jì)，補(bǔ)償，枕形，桶形，畸變，強(qiáng)度衰減，信號場準(zhǔn)備，衍射光學(xué)元件，損耗，期望光目標(biāo)圖案，迭代傅里葉變換算法 R+hS;F nh%
B2WX#/ lgd 1. 建模描述 AlaN; 設(shè)計(jì)擴(kuò)散器以在遠(yuǎn)場生成高數(shù)值孔徑光圖案 eaP$/U
D? 光源參數(shù)： Cfb-:e$0 — 高斯光源波長：532nm ;*H~Yb0 — 根據(jù)最終的衍射光學(xué)元件選擇合適的直徑 ^O*hs%eO% 系統(tǒng)參數(shù)： $%8n,FJ[ — 衍射元件到屏幕距離：z=0.5m K"$ky,tU 輸出場要求： n(S-F g — 期望光圖案：1.0m×0.5m網(wǎng)格 $KHD S:& — 光圖案期望分辨率：±0.5mm Vho0f< `E （目標(biāo)平面上相鄰衍射級次間的最小距離：∆xTP=1mm（離軸）） m 48Y1 '4 — 目標(biāo)圖案來源于文件 OV f|4J/Yx “Sc385_HighNA_DiffuserDesign_01_DesiredLightPattern.bmp” :E`l(sI7J} 衍射光學(xué)元件參數(shù)： q#-H+7 5 — 衍射元件的相位階數(shù)：4 f(o`=% k8
Jo+C!kc 2. 設(shè)計(jì)類型與步驟 4aKy]zPoE
^:ngHue8~ 遠(yuǎn)場應(yīng)用 c &(, 優(yōu)化衍射光學(xué)元件用以生成高數(shù)值孔徑角分布。 1*b %C"C
j=>G fo 信息 Bd[Gsns 衍射光學(xué)元件在波數(shù)域上生成一個角分布(kx，ky)。 {_}"USS
PQ]N>'v- 設(shè)計(jì)步驟 @sO.g_yM A. 計(jì)算衍射光學(xué)元件的像素尺寸、周期和像元數(shù)。 /2cOZ1G; B. 根據(jù)參數(shù)計(jì)算結(jié)果預(yù)先設(shè)置傅里葉迭代法優(yōu)化文檔。 ]+9:i!s C. 根據(jù)靶面上期望的光強(qiáng)分布在波數(shù)域上生成一個具有預(yù)補(bǔ)償角的光分布，并作為設(shè)計(jì)目標(biāo)圖形�？梢灶愃频亩x一個特定的優(yōu)化范圍。 m uY^Fx D. 傅里葉迭代法優(yōu)化文件的最終設(shè)置(定義實(shí)際的設(shè)計(jì)目標(biāo)圖案)。 s>I}-=.(Q A. 計(jì)算 ^
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~R" 1. 根據(jù)信號場沿x方向擴(kuò)展的一個合理的初始值計(jì)算衍射光學(xué)元件的最小像素（特征）尺寸(此處xmax SF僅有0.75m): {v
0(0  i .4[]f[/h 將此值近似到一個可加工尺寸 (∆x’DOE)以兼顧制造者加工過程中對于位置增加以及最小特征尺寸的加工能力。此處近似后，∆x’DOE=320nm。根據(jù) 1bs95Fh9Q 該值重新計(jì)算對應(yīng)的x’max SF值。 <sOB j'
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#* U 2. 計(jì)算衍射光學(xué)元件最大周期 pmax: k"zHrn"$ 利用公式  Q
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