測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) tQ:g#EqL9B 應(yīng)用示例簡述 }JP0q
1. 系統(tǒng)說明 jw P}{mi* 光源 g Kp5* — 氙氣燈(部分相干白光) WO}l&Q 組件 fPW|)e" — 分束器和合束器，消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測樣品 Y 6NoNc]h 探測器 + 2DzX/3 — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) ,H_b@$]n8 建模/設(shè)計(jì) p3m!Iota — 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽 xg dS]Sz — 幾何場追跡Plus(GFT+)： %NyV 2W=~X 部分相干白光會(huì)減少干涉條紋的對比度 7@[HRr 掃描樣品的高度輪廓時(shí)光強(qiáng)會(huì)發(fā)生變化 YsX&]4vzm % VV\biO] 2. 系統(tǒng)說明 +%O_xqq 參考光路
t:NYsL 
"w PA;4VQ /.knZ_aJ! 4. 總結(jié) &Zxo\[lP 邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案的研究以及作為高度掃描裝置的應(yīng)用 z~O#0Q ! 1. 仿真 ;)6L X- 以光線追跡對干涉儀仿真。 # NoY}* 2. 計(jì)算 3SI~?&HU!/ 采用幾何場追跡Plus引擎以計(jì)算干涉圖樣。 qD/GYqv m 3. 研究 Q3@MRR^tY 測繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測量 I.4o9Z[? iY|zv|;]= 利用VirtualLab軟件可對邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進(jìn)行研究分析。 LTn@OhC WfdM~k\ 應(yīng)用示例詳細(xì)內(nèi)容 A^m]DSF OO
系統(tǒng)參數(shù) z<3{.e\e
v+), uj 1. 仿真任務(wù)：邁克爾遜干涉儀 i)@IV]]6yL
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