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測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) ,T;D33XV 應(yīng)用示例簡述
=y`-:j\ 1. 系統(tǒng)說明 RF~G{wz 光源 d ,.=9 — 氙氣燈(部分相干白光) t]?{"O1rC 組件 m)Wq*&,o — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 .}:*tvot 探測器 V/zmbo) — 強度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) |I{3~+E h 建模/設(shè)計 wc&D[M]-/ — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 {SD%{ — 幾何場追跡Plus(GFT+): ,Z}ST|$u 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 r|i) 掃描樣品的高度輪廓時光強會發(fā)生變化 "bQi+@
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