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    [分享]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴格分析與優(yōu)化 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-30
    案例190（3.0） A%PPG+IfA  
     ".)_kt[  
    該應用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 K(d!0S  
     YzZF^q^I  
    1. 建模任務 WNb$2q=  
     *mQit/ k.  
    qj6`nbZ{va  
    2. 建模任務:介質(zhì)參數(shù) -"zu"H~t4  
    i4I0oRp  
    _6m3$k_[MJ  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) F&*M$@u5  
     Flxo%g};  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： #I?iR 3u  
     iW?9oe  
    1. 圓柱的水平間距：250nm @;6}xO2  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm  {K9E% ,w  
    3. 列距：125nm _")h %)f  
     [!&k?.*;<  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： dNQSbp  
     $)3PF  
    1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) rl%Kn^JJ~  
    2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) aHC;p=RQ\A  
    ]uvbQ.l_t  
     Qm#i"jvV  
    4. 3維柱型結(jié)構(gòu)的建模 pCmJY  
    "Cc"y* P  
    6Qb)Uq3}]  
    *$(CiyF!  
    VirtualLab為設計3 維柱型結(jié)構(gòu)提供任意選項。 pU